Parlatma pedinin kimyasal mekanik parlatma içinde uygulanması

Parlatma pedleri de parlatma derileri, parlatma bezleri, parlatma pedleri ve kimyasal mekanik parlatma içinde yüzey kalitesini belirleyen önemli yardımcı malzemeler de denir.

Parlatma pedleri aşındırıcı parlatma pedlerine ve aşındırıcı olmayan parlatma pedlerine, aşındırıcılar içerip içermediğine göre ayrılabilir; Farklı malzemelere göre, poliüretan parlatma pedlerine, dokuma olmayan parlatma pedlerine ve kompozit parlatma pedlerine ayrılabilirler; Farklı yüzey yapılarına göre, kabaca düz tip, ızgara tipine ve spiral hat tipine ayrılabilirler.

İşte içerik listesi:

l Parlatma yastığının iş parçasının yüzey taşlama makinesinde işlenmesinde rolü nedir?

l Parlatma için kaç yön var?

l Parlatma pedinin etkilenen faktörleri

Parlatma yastığının iş parçasının yüzey taşlama makinesinde işlenmesinde rolü nedir?

parlatma pediParlatma sıvısını parlatma pedinin farklı alanlarına etkili ve eşit şekilde taşır; Parlatma pedi, temizleme etkisini elde etmek için parlatmadan sonra tamamen kimyasal olarak reaksiyona giren reaktifleri ve döküntüleri sorunsuz bir şekilde boşaltır;

Parlatma sıvısı filmini parlatma pedinin yüzeyine tutun, böylece kimyasal reaksiyonun tam devam edebilmesi; Parlatma pedi, parlatma işleminin pürüzsüzlüğünü korur ve gofretin daha iyi bir yüzey morfolojisi elde etmek için yüzey deforme olmaz.

Parlatma için kaç yön var?

Isı akış yöntemi, etch-arka yöntemi, döner cam yöntemi, elektron çevreleyen rezonans yöntemi, düşük basınçlı CVD, seçici biriktirme, biriktirme-etch-çökeltme, plazma arttırılmış CVD, vb. Gibi birçok geleneksel malzeme planarizasyon teknolojisi vardır. Geliştirmede plantarlaşma süreci uygulandı. Bu teknolojiler, malzemelerin yerel plantarlaştırma teknolojisine ait olduğu için, küresel düzlemleşmeyi elde etmek için, kimyasal mekanik parlatma teknolojisi için parlatma pedlerinin kullanımı yavaş yavaş gelişmeye başlamıştır.

Parlatma pedi, CMP sürecinde parlatma oranını ve plantarlaştırma kabiliyetini belirleyen önemli sarf malzemelerinden biridir. Aşındırıcı ile daha iyi bir rol oynamak için, parlatma pedi genellikle belirli mekanik özelliklere ve gözenekli su emme özelliklerine sahiptir. Delikler, aşındırıcıların transfer edilmesine ve parlatma homojenliğini iyileştirmeye yardımcı olabilir.

Üç temel parlatma pedi tipi vardır: poliüretan parlatma pedleri, dokuma olmayan parlatma pedleri ve kabartmak yapı parlatma pedleri.

Parlatma pedinin etkilenen faktörleri

Sertlik: Parlatma yastığının sertliği, yüzeyin doğruluğunu koruma yeteneğini belirler; Sıkıştırma oranı: Sıkıştırma oranı, parlatma pedinin anti-deformasyon kabiliyetini yansıtmaktadır; Koruma: Parlatma pedinin korunması, parlatma pedinin birim hacmi başına depolanan parlatma sıvısının kalitesidir; Pürüzlülük: Yüzey pürüzlülüğü, parlatma pedinin yüzeyinde eşitsizlik derecesidir; Yoğunluk: yoğunluk, parlatma ped malzemesinin kompaktlığının derecesidir;

Günümüzde parlatma pedi fabrikaları, geniş bir satış yelpazesi ile iyi gelişmiş ve yavaş yavaş uluslararası standartlara uygun olma eğilimindedir. Bu nedenle, farklı üreticiler farklı parlatma pedleri seçecektir. Sıradan bir parlatma pedi ya da süper bir parlatma pedi olup olmadığı. Tarafından üretilen parlatma pediHubei küçük karınca elmas araçları co., Ltd. Kuru bir parlatma pedi için en iyi seçimdir.